TY  - RPRT
TI  - Titanium Nitride Films for Ultrasensitive Microresonator Detectors
AU  - Henry G. Leduc
AU  - Bruce Bumble
AU  - Peter K. Day
AU  - Anthony D. Turner
AU  - Byeong Ho Eom
AU  - Sunil Golwala
AU  - David C. Moore
AU  - Omid Noroozian
AU  - Jonas Zmuidzinas
AU  - Jiansong Gao
AU  - Benjamin A. Mazin
AU  - Sean McHugh
AU  - Andrew Merrill
PY  - 2010
DO  - 10.1063/1.3480420
UR  - https://arxiv.org/abs/1003.5584
ID  - 1003.5584
ER  -