TY  - RPRT
TI  - Resonance frequency dependence on out-of-plane forces for square silicon membranes: applications to a MEMS gradiometer
AU  - I. Lucas
AU  - R. P. del Real
AU  - M. D. Michelena
AU  - V. de Manuel
AU  - M. Duch
AU  - J. Esteve
AU  - J. A. Plaza
PY  - 2010
UR  - https://arxiv.org/abs/1008.2296
ID  - 1008.2296
ER  -