TY  - RPRT
TI  - Aluminum Hard Mask Technique for the Fabrication of High-Quality Submicron Nb/Al-AlOx/Nb Josephson Junctions
AU  - Christoph Kaiser
AU  - J. M. Meckbach
AU  - K. Ilin
AU  - J. Lisenfeld
AU  - R. Schäfer
AU  - A. V. Ustinov
AU  - M. Siegel
PY  - 2010
DO  - 10.1088/0953-2048/24/3/035005
UR  - https://arxiv.org/abs/1009.0167
ID  - 1009.0167
ER  -