TY  - RPRT
TI  - Doping Dependence of Thermal Oxidation on n-type 4H-SiC
AU  - B. K. Daas
AU  - M. M. Islam
AU  - I. A. Chowdhury
AU  - F. Zhao
AU  - T. S. Sudarshan
AU  - M. V. S. Chandrashekhar
PY  - 2010
DO  - 10.1109/ted.2010.2088270
UR  - https://arxiv.org/abs/1010.0473
ID  - 1010.0473
ER  -