TY - RPRT TI - Effect of heat treatment on mechanical dissipation in Ta$_2$O$_5$ coatings AU - I W Martin AU - R Bassiri AU - R Nawrodt AU - M M Fejer AU - A Gretarsson AU - E Gustafson AU - G Harry AU - J Hough AU - I MacLaren AU - S Penn AU - S Reid AU - R Route AU - S Rowan AU - C Schwar AU - P Seidel AU - J Scott AU - A L Woodcraft PY - 2010 DO - 10.1088/0264-9381/27/22/225020 UR - https://arxiv.org/abs/1010.0577 ID - 1010.0577 ER -