TY - RPRT TI - Flexible and biocompatible microelectrode arrays fabricated by supersonic cluster beam deposition on SU-8 AU - Mattia Marelli AU - Giorgio Divitini AU - Cristian Collini AU - Luca Ravagnan AU - Gabriele Corbelli AU - Cristian Ghisleri AU - Antonella Gianfelice AU - Cristina Lenardi AU - Leandro Lorenzelli AU - Paolo Milani PY - 2010 DO - 10.1088/0960-1317/21/4/045013 UR - https://arxiv.org/abs/1010.1296 ID - 1010.1296 ER -