TY  - RPRT
TI  - Interface Trap Density Metrology of state-of-the-art undoped Si n-FinFETs
AU  - Giuseppe Carlo Tettamanzi
AU  - Abhijeet Paul
AU  - Sunhee Lee
AU  - Saumitra R. Mehrotra
AU  - Nadine Collaert
AU  - Serge Biesemans
AU  - Gerhard Klimeck
AU  - Sven Rogge
PY  - 2010
UR  - https://arxiv.org/abs/1011.2582
ID  - 1011.2582
ER  -