TY  - RPRT
TI  - Reduced basis method for source mask optimization
AU  - J. Pomplun
AU  - L. Zschiedrich
AU  - S. Burger
AU  - F. Schmidt
AU  - J. Tyminski
AU  - D. Flagello
AU  - N. Toshiharu
PY  - 2010
DO  - 10.1117/12.866101
UR  - https://arxiv.org/abs/1011.2902
ID  - 1011.2902
ER  -