TY  - RPRT
TI  - Symbiotic Optimization of the Nanolithography and RF-Plasma Etching for Fabricating High-Quality Light-Sensitive Superconductors on the 50 nm Scale
AU  - H. Bartolf
AU  - K. Inderbitzin
AU  - L. B. Gómez
AU  - A. Engel
AU  - A. Schilling
AU  - H. -W. Hübers
AU  - A. Semenov
AU  - K. Il'in
AU  - M. Siegel
PY  - 2010
UR  - https://arxiv.org/abs/1011.4676
ID  - 1011.4676
ER  -