TY  - RPRT
TI  - Novel E-beam lithography technique for in-situ junction fabrication: the controlled undercut
AU  - Florent Lecocq
AU  - Cécile Naud
AU  - Ioan M. Pop
AU  - Zhi-Hui Peng
AU  - Iulian Matei
AU  - Thierry Crozes
AU  - Thierry Fournier
AU  - Wiebke Guichard
AU  - Olivier Buisson
PY  - 2011
DO  - 10.1088/0957-4484/22/31/315302
UR  - https://arxiv.org/abs/1101.4576
ID  - 1101.4576
ER  -