TY - RPRT TI - Fabrication of InP nano pillars by ECR Ar ion irradiation AU - D. Paramanik AU - T. T. Suzuki AU - N. Ikeda AU - Y. Sugimoto AU - T. Nagai AU - M. Takeguchi AU - C. Van Haesendonck PY - 2011 UR - https://arxiv.org/abs/1104.1912 ID - 1104.1912 ER -