TY  - RPRT
TI  - Atomic layer deposition and superconducting properties of NbSi films
AU  - Thomas Proslier
AU  - Jeffrey A. Klug
AU  - Jeffrey W. Elam
AU  - Helmut Claus
AU  - Nicholas G. Becker
AU  - Michael Pellin
PY  - 2011
UR  - https://arxiv.org/abs/1104.3518
ID  - 1104.3518
ER  -