TY  - RPRT
TI  - Formation and annealing of dislocation loops induced by nitrogen implantation of ZnO
AU  - Guillaume Perillat-Merceroz
AU  - Patrice Gergaud
AU  - Pascal Marotel
AU  - Stéphane Brochen
AU  - Pierre-Henri Jouneau
AU  - Guy Feuillet
PY  - 2011
DO  - 10.1063/1.3537917
UR  - https://arxiv.org/abs/1106.4383
ID  - 1106.4383
ER  -