TY  - RPRT
TI  - ZnCoO Films by Atomic Layer Deposition - influence of a growth temperature on uniformity of cobalt distribution
AU  - M. I. Lukasiewicz
AU  - B. Witkowski
AU  - M. Godlewski
AU  - E. Guziewicz
AU  - M. Sawicki
AU  - W. Paszkowicz
AU  - E. Lusakowska
AU  - R. Jakiela
AU  - T. Krajewski
AU  - I. A. Kowalik
AU  - B. J. Kowalski
PY  - 2011
UR  - https://arxiv.org/abs/1107.5196
ID  - 1107.5196
ER  -