TY  - RPRT
TI  - Properties and characterization of ALD grown dielectric oxides for MIS structures
AU  - S. Gieraltowska
AU  - D. Sztenkiel
AU  - E. Guziewicz
AU  - M. Godlewski
AU  - G. Luka
AU  - B. S. Witkowski
AU  - L. Wachnicki
AU  - E. Lusakowska
AU  - T. Dietl
AU  - M. Sawicki
PY  - 2011
UR  - https://arxiv.org/abs/1107.5401
ID  - 1107.5401
ER  -