TY - RPRT TI - Fabrication of submicron La$_{2-x}$Sr$_{x}$CuO$_{4}$ intrinsic Josephson junction stacks AU - Yuimaru Kubo AU - Yamaguchi Takahide AU - Takayoshi Tanaka AU - Shinya Ueda AU - Satoshi Ishii AU - Shunsuke Tsuda AU - A. T. M. Nazmul Islam AU - Isao Tanaka AU - Yoshihiko Takano PY - 2011 DO - 10.1063/1.3544037 UR - https://arxiv.org/abs/1108.3469 ID - 1108.3469 ER -