TY  - RPRT
TI  - Versatile sputtering technology for Al2O3 gate insulators on graphene
AU  - M. Friedemann
AU  - M. Woszczyna
AU  - A. Müller
AU  - S. Wundrack
AU  - T. Dziomba
AU  - Th. Weimann
AU  - Th. Seyller
AU  - F. Ahlers
PY  - 2011
DO  - 10.1088/1468-6996/13/2/025007
UR  - https://arxiv.org/abs/1110.1535
ID  - 1110.1535
ER  -