TY - RPRT TI - Tantalum nitride superconducting single-photon detectors with low cut-off energy AU - Andreas Engel AU - Adrian Aeschbacher AU - Kevin Inderbitzin AU - Andreas Schilling AU - Konstantin Il'in AU - Matthias Hofherr AU - Michael Siegel AU - Alexei Semenov AU - Heinz-Wilhelm Hübers PY - 2012 DO - 10.1063/1.3684243 UR - https://arxiv.org/abs/1110.4576 ID - 1110.4576 ER -