TY  - RPRT
TI  - Correlation between microstructure deflections and film/substrate curvature under generalized stress fields
AU  - Massimo Camarda
AU  - Ruggero Anzalone
AU  - Giuseppe D'Arrigo
AU  - Andrea Severino
AU  - Nicolò Piluso
AU  - Andrea Canino
AU  - Francesco La Via
AU  - Antonino La Magna
PY  - 2011
UR  - https://arxiv.org/abs/1110.4727
ID  - 1110.4727
ER  -