TY - RPRT TI - Planar Superconducting Resonators with Internal Quality Factors above One Million AU - A. Megrant AU - C. Neill AU - R. Barends AU - B. Chiaro AU - Yu Chen AU - L. Feigl AU - J. Kelly AU - Erik Lucero AU - Matteo Mariantoni AU - P. J. J. O'Malley AU - D. Sank AU - A. Vainsencher AU - J. Wenner AU - T. C. White AU - Y. Yin AU - J. Zhao AU - C. J. Palmstrøm AU - John M. Martinis AU - A. N. Cleland PY - 2012 DO - 10.1063/1.3693409 UR - https://arxiv.org/abs/1201.3384 ID - 1201.3384 ER -