TY  - RPRT
TI  - MEMS practice, from the lab to the telescope
AU  - Katie M. Morzinski
AU  - Andrew P. Norton
AU  - Julia Wilhelmson Evans
AU  - Layra Reza
AU  - Scott A. Severson
AU  - Daren Dillon
AU  - Marc Reinig
AU  - Donald T. Gavel
AU  - Steven Cornelissen
AU  - Bruce A. Macintosh
AU  - Claire E. Max
PY  - 2012
DO  - 10.1117/12.910964
UR  - https://arxiv.org/abs/1202.1566
ID  - 1202.1566
ER  -