TY  - RPRT
TI  - SLID-ICV Vertical Integration Technology for the ATLAS Pixel Upgrades
AU  - A. Macchiolo
AU  - L. Andricek
AU  - H. G. Moser
AU  - R. Nisius
AU  - R. H. Richter
AU  - P. Weigell
PY  - 2012
UR  - https://arxiv.org/abs/1202.6497
ID  - 1202.6497
ER  -