TY  - RPRT
TI  - High resolution SIMS depth profiling of nanolayers
AU  - S. V. Baryshev
AU  - A. V. Zinovev
AU  - C. E. Tripa
AU  - M. J. Pellin
AU  - Q. Peng
AU  - J. W. Elam
AU  - I. V. Veryovkin
PY  - 2012
UR  - https://arxiv.org/abs/1204.6252
ID  - 1204.6252
ER  -