TY  - RPRT
TI  - High-Q aluminum nitride photonic crystal nanobeam cavities
AU  - W. H. P. Pernice
AU  - C. Xiong
AU  - C. Schuck
AU  - H. X. Tang
PY  - 2012
DO  - 10.1063/1.3690888
UR  - https://arxiv.org/abs/1205.1405
ID  - 1205.1405
ER  -