TY  - RPRT
TI  - Etch Induced Microwave Losses in Titanium Nitride Superconducting Resonators
AU  - Martin Sandberg
AU  - Michael R. Vissers
AU  - Jeffrey S. Kline
AU  - Martin Weides
AU  - Jiansong Gao
AU  - David S. Wisbey
AU  - David P. Pappas
PY  - 2012
DO  - 10.1063/1.4729623
UR  - https://arxiv.org/abs/1205.3153
ID  - 1205.3153
ER  -