TY  - RPRT
TI  - Ion beam lithography for Fresnel zone plates in X-ray microscopy
AU  - Kahraman Keskinbora
AU  - Corinne Grévent
AU  - Michael Bechtel
AU  - Markus Weigand
AU  - Eberhard Goering
AU  - Achim Nadzeyka
AU  - Lloyd Peto
AU  - Stefan Rehbein
AU  - Gerd Schneider
AU  - Rolf Follath
AU  - Joan Vila-Comamala
AU  - Hanfei Yan
AU  - Gisela Schütz
PY  - 2014
DO  - 10.1364/oe.21.011747
UR  - https://arxiv.org/abs/1205.4502
ID  - 1205.4502
ER  -