TY - RPRT TI - Hybrid circuit cavity quantum electrodynamics with a micromechanical resonator AU - J. M. Pirkkalainen AU - S. U. Cho AU - Jian Li AU - G. S. Paraoanu AU - P. J. Hakonen AU - M. A. Sillanpää PY - 2013 DO - 10.1038/nature11821 UR - https://arxiv.org/abs/1207.1637 ID - 1207.1637 ER -