TY  - RPRT
TI  - Comb-drive MEMS Oscillators for Low Temperature Experiments
AU  - M. Gonzalez
AU  - P. Zheng
AU  - E. Garcell
AU  - Y. Lee
AU  - H. B. Chan
PY  - 2013
UR  - https://arxiv.org/abs/1209.0826
ID  - 1209.0826
ER  -