TY  - RPRT
TI  - Infrared dielectric properties of low-stress silicon nitride
AU  - Giuseppe Cataldo
AU  - James A. Beall
AU  - Hsiao-Mei Cho
AU  - Brendan McAndrew
AU  - Michael D. Niemack
AU  - Edward J. Wollack
PY  - 2012
DO  - 10.1364/ol.37.004200
UR  - https://arxiv.org/abs/1209.2987
ID  - 1209.2987
ER  -