TY  - RPRT
TI  - Sub-μm Josephson Junctions for Superconducting Quantum Devices
AU  - J. M. Meckbach
AU  - M. Merker
AU  - S. J. Buehler
AU  - K. Ilin
AU  - B. Neumeier
AU  - U. Kienzle
AU  - E. Goldobin
AU  - R. Kleiner
AU  - D. Koelle
AU  - M. Siegel
PY  - 2012
DO  - 10.1109/tasc.2012.2231719
UR  - https://arxiv.org/abs/1210.1012
ID  - 1210.1012
ER  -