TY  - RPRT
TI  - Thin n-in-p pixel sensors and the SLID-ICV vertical integration technology for the ATLAS upgrade at the HL-LHC
AU  - A. Macchiolo
AU  - L. Andricek
AU  - M. Ellenburg
AU  - H. G. Moser
AU  - R. Nisius
AU  - R. H. Richter
AU  - S. Terzo
AU  - P. Weigell
PY  - 2012
DO  - 10.1016/j.nima.2013.04.077
UR  - https://arxiv.org/abs/1210.7933
ID  - 1210.7933
ER  -