TY  - RPRT
TI  - Magnetic field strength influence on the reactive magnetron sputter deposition of Ta2O5
AU  - R. Hollerweger
AU  - D. Holec
AU  - J. Paulitsch
AU  - R. Rachbauer
AU  - P. Polcik
AU  - P. H. Mayrhofer
PY  - 2012
DO  - 10.1088/0022-3727/46/33/335203
UR  - https://arxiv.org/abs/1212.4089
ID  - 1212.4089
ER  -