TY  - RPRT
TI  - Microwave properties of superconducting atomic-layer deposited TiN films
AU  - P. C. J. J. Coumou
AU  - M. R. Zuiddam
AU  - E. F. C. Driessen
AU  - P. J. de Visser
AU  - J. J. A. Baselmans
AU  - T. M. Klapwijk
PY  - 2012
DO  - 10.1109/tasc.2012.2236603
UR  - https://arxiv.org/abs/1212.4434
ID  - 1212.4434
ER  -