TY  - RPRT
TI  - Image Registration for Stability Testing of MEMS
AU  - Nargess Memarsadeghi
AU  - Jacqueline Le Moigne
AU  - Peter N. Blake
AU  - Peter A. Morey
AU  - Wayne B. Landsman
AU  - Victor J. Chambers
AU  - Samuel H. Moseley
PY  - 2013
DO  - 10.1117/12.872076
UR  - https://arxiv.org/abs/1301.1897
ID  - 1301.1897
ER  -