TY - RPRT TI - Batch-fabricated cantilever probes with electrical shielding for nanoscale dielectric and conductivity imaging AU - Yongliang Yang AU - Keji Lai AU - Qiaochu Tang AU - Worasom Kundhikanjana AU - Michael A Kelly AU - Kun Zhang AU - Zhi-xun Shen AU - Xinxin Li PY - 2013 UR - https://arxiv.org/abs/1301.2402 ID - 1301.2402 ER -