TY - RPRT TI - An innovative way of etching MoS2: Characterization and mechanistic investigation AU - Yuan Huang AU - Jing Wu AU - Xiangfan Xu AU - Yuda Ho AU - Guangxin Ni AU - Qiang Zou AU - Gavin Kok Wai Koon AU - Weijie Zhao AU - A. H. Castro Neto AU - Goki Eda AU - Chengmin Shen AU - Barbaros Özyilmaz PY - 2013 DO - 10.1007/s12274-013-0296-8 UR - https://arxiv.org/abs/1303.0113 ID - 1303.0113 ER -