TY  - RPRT
TI  - Ultra-Thin Free-Standing Single Crystalline Silicon Membranes With Strain Control
AU  - Andrey Shchepetov
AU  - Mika Prunnila
AU  - Francesc Alzina
AU  - Lars Schneider
AU  - John Cuffe
AU  - Hua Jiang
AU  - Esko I. Kauppinen
AU  - Clivia M. Sotomayor Torres
AU  - Jouni Ahopelto
PY  - 2013
DO  - 10.1063/1.4807130
UR  - https://arxiv.org/abs/1303.1658
ID  - 1303.1658
ER  -