TY - RPRT TI - High quality factor mg-scale silicon mechanical resonators for 3-mode optoacoustic parametric amplifiers AU - Francis Achilles Torres AU - Phillip Meng AU - Li Ju AU - Chunnong Zhao AU - David Gerald Blair AU - Kai-Yu Liu AU - Shiuh Chao AU - Mariusz Martyniuk AU - Isabelle Roch-Jeune AU - Raffaele Flaminio AU - Christophe Michel PY - 2013 UR - https://arxiv.org/abs/1303.6595 ID - 1303.6595 ER -