TY  - RPRT
TI  - Fast simulation method for parameter reconstruction in optical metrology
AU  - S. Burger
AU  - L. Zschiedrich
AU  - J. Pomplun
AU  - F. Schmidt
AU  - B. Bodermann
PY  - 2013
DO  - 10.1117/12.2011154
UR  - https://arxiv.org/abs/1304.4367
ID  - 1304.4367
ER  -