TY  - RPRT
TI  - EUV induced defects on few-layer graphene
AU  - A. Gao
AU  - P. J. Rizo
AU  - E. Zoethout
AU  - L. Scaccabarozzi
AU  - C. J. Lee
AU  - V. Banine
AU  - F. Bijkerk
PY  - 2013
DO  - 10.1063/1.4817082
UR  - https://arxiv.org/abs/1304.4395
ID  - 1304.4395
ER  -