TY  - RPRT
TI  - Parameter Extraction and Support-Loss in MEMS Resonators
AU  - P. G. Steeneken
AU  - J. J. M. Ruigrok
AU  - S. Kang
AU  - J. T. M. van Beek
AU  - J. Bontemps
AU  - J. J. Koning
PY  - 2013
UR  - https://arxiv.org/abs/1304.7953
ID  - 1304.7953
ER  -