TY  - RPRT
TI  - Graphene Metallization of High-Stress Silicon Nitride Resonators for Electrical Integration
AU  - Sunwoo Lee
AU  - Vivekananda P. Adiga
AU  - Robert A. Barton
AU  - Arend van der Zande
AU  - Gwan-Hyoung Lee
AU  - B. Rob Ilic
AU  - Alexander Gondarenko
AU  - Jeevak M. Parpia
AU  - Harold G. Craighead
AU  - James Hone
PY  - 2013
DO  - 10.1021/nl4020414
UR  - https://arxiv.org/abs/1305.4852
ID  - 1305.4852
ER  -