TY  - RPRT
TI  - An algebraic RF sheath model for all excitation waveforms and amplitudes, and all levels of collisionality
AU  - A. E. Elgendy
AU  - H. Hatefinia
AU  - T. Hemke
AU  - M. Shihab
AU  - A. Wollny
AU  - D. Eremin
AU  - T. Mussenbrock
AU  - R. P. Brinkmann
PY  - 2013
UR  - https://arxiv.org/abs/1306.1664
ID  - 1306.1664
ER  -