TY  - RPRT
TI  - Sputtered TiN films for superconducting coplanar waveguide resonators
AU  - Shinobu Ohya
AU  - Ben Chiaro
AU  - Anthony Megrant
AU  - Charles Neill
AU  - Rami Barends
AU  - Yu Chen
AU  - Julian Kelly
AU  - David Low
AU  - Josh Mutus
AU  - Peter O'Malley
AU  - Pedram Roushan
AU  - Daniel Sank
AU  - Amit Vainsencher
AU  - James Wenner
AU  - Theodore C. White
AU  - Yi Yin
AU  - B. D. Schultz
AU  - Chris J Palmstrøm
AU  - Benjamin A. Mazin
AU  - Andrew N. Cleland
AU  - John M. Martinis
PY  - 2013
UR  - https://arxiv.org/abs/1306.2966
ID  - 1306.2966
ER  -