TY  - RPRT
TI  - Laser-Doping of Crystalline Silicon Substrates using Doped Silicon Nanoparticles
AU  - Martin Meseth
AU  - Kais Lamine
AU  - Martin Dehnen
AU  - Sven Kayser
AU  - Wolfgang Brock
AU  - Dennis Behrenberg
AU  - Hans Orthner
AU  - Anna Elsukova
AU  - Nils Hartmann
AU  - Hartmut Wiggers
AU  - Tim Hülser
AU  - Hermann Nienhaus
AU  - Niels Benson
AU  - Roland Schmechel
PY  - 2013
DO  - 10.1016/j.tsf.2013.09.056
UR  - https://arxiv.org/abs/1307.0795
ID  - 1307.0795
ER  -