TY  - RPRT
TI  - Micromanipulation transfer of membrane resonators for circuit optomechanics
AU  - Maria Berdova
AU  - Sung Un Cho
AU  - Juha-Matti Pirkkalainen
AU  - Jaakko Sulkko
AU  - Xuefeng Song
AU  - Pertti J. Hakonen
AU  - Mika A. Sillanpaa
PY  - 2013
DO  - 10.1088/0960-1317/23/12/125024
UR  - https://arxiv.org/abs/1307.1619
ID  - 1307.1619
ER  -