TY  - RPRT
TI  - Chemical mechanical polishing of thin film diamond
AU  - Evan L. H. Thomas
AU  - Geoffrey W. Nelson
AU  - Soumen Mandal
AU  - John S. Foord
AU  - Oliver A. Williams
PY  - 2013
DO  - 10.1016/j.carbon.2013.11.023
UR  - https://arxiv.org/abs/1308.1239
ID  - 1308.1239
ER  -