TY  - RPRT
TI  - ZnO, ZnMnO and ZnCoO films grown by atomic layer deposition
AU  - M. I. Łukasiewicz
AU  - A. Wójcik-Głodowska
AU  - E. Guziewicz
AU  - A. Wolska
AU  - M. T. Klepka
AU  - P. Dłużewski
AU  - R. Jakieła
AU  - E. Łusakowska
AU  - K. Kopalko
AU  - W. Paszkowicz
AU  - Ł. Wachnicki
AU  - B. S. Witkowski
AU  - W. Lisowski
AU  - M. Krawczyk
AU  - J. W. Sobczak
AU  - A. Jabłoński
AU  - M. Godlewski
PY  - 2013
DO  - 10.1088/0268-1242/27/7/074009
UR  - https://arxiv.org/abs/1308.2057
ID  - 1308.2057
ER  -