TY  - RPRT
TI  - ALD grown zinc oxide with controllable electrical properties
AU  - E. Guziewicz
AU  - M. Godlewski
AU  - L. Wachnicki
AU  - T. A. Krajewski
AU  - G. Luka
AU  - S. Gieraltowska
AU  - R. Jakiela
AU  - A. Stonert
AU  - W. Lisowski
AU  - M. Krawczyk
AU  - J. W. Sobczak
AU  - A. Jablonski
PY  - 2013
DO  - 10.1088/0268-1242/27/7/074011
UR  - https://arxiv.org/abs/1308.2064
ID  - 1308.2064
ER  -