TY  - RPRT
TI  - Heteroepitaxy of Group IV-VI Nitrides by Atomic Layer Deposition
AU  - Jeffrey A. Klug
AU  - Nicholas G. Becker
AU  - Nickolas R. Groll
AU  - Chaoyue Cao
AU  - Matthew S. Weimer
AU  - Michael J. Pellin
AU  - John F. Zasadzinski
AU  - Thomas Proslier
PY  - 2013
DO  - 10.1063/1.4831977
UR  - https://arxiv.org/abs/1309.1789
ID  - 1309.1789
ER  -